華爾升真空箱式氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)

半導(dǎo)體行業(yè)氦檢系統(tǒng)

性能介紹：

設(shè)備主要用于半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)測(cè)漏，對(duì)缸體典軸箱體、油道、水道進(jìn)行氣密性檢測(cè)，并具備對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行存健、工件計(jì)數(shù)、工件識(shí)別等功能，包含1臺(tái)設(shè)備的掃碼、試離、通用液壓站，自動(dòng)輸送、剔料輥道、儲(chǔ)料系統(tǒng)、安全裝置。

技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)試量程　　　　 0～500KPa　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

測(cè)量精度　　　　1.0×10 Pa·m'/s

測(cè)試方式　　　　氦檢　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

檢測(cè)節(jié)拍 　　　　5s/P

漏率顯示　　　　Pa·m/s、 mbarl/s、atml/s、tor/s、sccm　　　　　　　　

時(shí)間設(shè)定　　　　999.9秒（最小0.1秒）

掃 　　碼　　　　支持二維碼掃描　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

環(huán)境溫度　　　　5～45℃

濕　　度　　　　80 %RH 以下，但不結(jié)露　　　　　　　　　　　　　　　　

供電電源 　　　　220V　 50Hz

功 　　率　　　　3KW　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

氣　　源　　　　 0.5～0.7MPa (He和N₂)

電池蓋板爆破呼吸耐壓氣檢測(cè)試系統(tǒng)

系統(tǒng)概述：

1.本設(shè)備是針對(duì)電池防爆閥呼吸測(cè)試。設(shè)備主要具有以下功能：

2.防爆閥呼吸測(cè)試：從外向內(nèi)(測(cè)試壓力、測(cè)試時(shí)間、測(cè)試次數(shù)系統(tǒng)可調(diào))；

3.防爆閥呼吸測(cè)試：從內(nèi)向外(測(cè)試壓力、測(cè)試時(shí)間、測(cè)試次數(shù)系統(tǒng)可調(diào))；

4.供方根據(jù)藍(lán)本工件尺寸制作一套檢測(cè)工裝；

5.測(cè)試過(guò)程全自動(dòng)完成。

主要技術(shù)參數(shù)：

壓力傳感器量程 　　　　0.1-2.0MPa；分辨率：0.01MPa；精度；±0.5%　

比例閥重復(fù)精度　　　　 ±1%以下（量程）

比例閱靈敏度　　　　　 ±1%以下（量程）　　　　　　　　　　　　　

比例閥輸出壓力精度 　　±2%以下（量程）

裝　置　電　源　　　　220V， 50Hz， 1KW　　　　　　　　　　　　　

壓　縮　空　 氣　　　　>0.5MPa（氣動(dòng)元件用）

設(shè)　備　重　量　　　　約500kg　　　　　　　　　　　　　　　　　　

設(shè)備外形尺寸 　　　　　1300（長(zhǎng)）x600（寬）x1500（高）（mm）

散熱器氦檢系統(tǒng)

系統(tǒng)概述：

1.本設(shè)備適用對(duì)換熱器進(jìn)行干式撿漏。主要具有以下邊能；

2.對(duì)被檢工件保壓檢大漏；

3.對(duì)被檢工件抽真空并充注氦氣(0～4MPa，此總圍內(nèi)可調(diào)】；

4.真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè)，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格；

5.不合格工件箱外吸槍尋找漏點(diǎn)功能；

6.沒(méi)備預(yù)留氣國(guó)收接口；

7.人工掃弱功能，能與MES系統(tǒng)相連；

8.管道留接口，以滿足多箱聯(lián)動(dòng)需要；

9.真空箱外配2套工件車(一備一用》；

10.PLC控制，摸屏操作，檢測(cè)過(guò)程全自動(dòng)

主要技術(shù)參數(shù)：

檢測(cè)漏率 　<2.2×10^-7Pa·m³/s 　　　真空箱數(shù)量 　　　1只　　　　　　

檢測(cè)節(jié)拍 　5分鐘/件　　　　　　　氦氣壓力 　0～4MPa，在此范圍內(nèi)壓力可調(diào)

每箱可檢測(cè)工件數(shù) 　　　1個(gè)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

工件進(jìn)出真空箱方式 　　人工推拉進(jìn)出真空箱

真空箱開(kāi)關(guān)門(mén)方式 　　　垂直提拉式　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱內(nèi)腔尺寸及容積　 2500（長(zhǎng)）×700（寬）×500（高（單位：mm），約875L

系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)：

氦回收率 　　　　　　　　≥298%　　　　　　　　　　　　　　　　　　

檢漏儀開(kāi)檢（真空箱內(nèi)）　壓力≤20Pa

工件抽空壓力 　　　　　　≤000Pa（壓力向上可調(diào)）　　　　　　　　　　

設(shè)備外形尺寸　　　　　　 4900（長(zhǎng)）×4580（寬）×2660（高）（單位：mm）

華爾升真空箱式氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng) 

充氣環(huán)網(wǎng)柜氦檢系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹：

主要應(yīng)用于電力高壓開(kāi)關(guān)柜的泄漏檢測(cè)，可配置物料運(yùn)輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)進(jìn)出箱，降性人工勞動(dòng)強(qiáng)度。本設(shè)備適用對(duì)SF6開(kāi)關(guān)柜/充氣柜/環(huán)網(wǎng)柜進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：

1.對(duì)被檢工件和真空箱等壓(≤壓差0.05MPa)抽真空，并保壓檢大漏；

2.對(duì)被檢工件充注氦氣；

3.真空箱法氦質(zhì)譜檢微漏、中漏、檢大漏，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格；

4.回收并循環(huán)使用氦氣；

6.充注SF6氣體；

7.對(duì)工件干燥微水處理

8.系統(tǒng)PLC控制，觸摸屏操作，檢測(cè)過(guò)程全自動(dòng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

檢測(cè)漏率 　　2.4×10^-6Pa·m³/s(0.2%/年，按工件內(nèi)容積≥300L）　　　　　

檢測(cè)節(jié)拍 　　≤45min/箱（含SFE充法的間小于3min，接口有效內(nèi)通徑需滿足不小于φ12mm要求，不含人工時(shí)間）

三級(jí)檢漏　　檢大漏、檢中漏、微小檢漏　　　　　　　　　　　　　　　　

檢測(cè)方式　　檢整體漏率

安全保護(hù) 　　光棚保護(hù)、電氣互鎖、層級(jí)密碼控制、聲光報(bào)警　　　　　　

經(jīng)　濟(jì)　性　氦氣回收循環(huán)利用、維護(hù)成本低(根據(jù)當(dāng)戶需求可加氦氣提純系統(tǒng))

自動(dòng)化水平 　PLC控制、觸摸屏操作、自動(dòng)檢測(cè)　　　　　　　　　　　　

汽車零件真空箱氦檢系統(tǒng)

機(jī)械系統(tǒng)：

機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元，檢漏單元、清氦單元。

主要技術(shù)參數(shù)：

真空箱數(shù)量　　4個(gè)(2大2小) 　　　　工件真空　　　　　≦1000Pa（可設(shè)）

工件重量　　　≤50（千克）　　　　　真空精檢調(diào)真空　　≤20 Pa（可設(shè)）

工件漏率　　　1×10^-5mhar·L/s 　　　系統(tǒng)自漏率 　　　　1×10^-8mber·L/s

工作節(jié)拍　　　≤45s/箱 　　　　　　　氦氣本底　　　　　 ≤1.0×10^-6mbar-L/s

箱內(nèi)工件接口數(shù)量 1個(gè) 　　　　　　　　標(biāo)準(zhǔn)漏孔溫率值 　　1×10^-5mbar-L/s

充氦氣壓力 　　0-1.GMPa（范國(guó)內(nèi)可調(diào)）箱門(mén)開(kāi)關(guān)方式 　　　自動(dòng)上下直拉開(kāi)門(mén)

充氮?dú)鈮毫?/span>　　 0-1.0MPa（范圍內(nèi)可調(diào)） 真空箱及送料 　　　半自動(dòng)　　　　

氦氣回收率 　　≥95% 　　　　　　　　　設(shè)備校準(zhǔn) 　　　　可自動(dòng)操作內(nèi)置漏孔校準(zhǔn)

對(duì)工件接口的要求 　快卸工裝夾具，氣缸快壓封堵　　　　　　　　　　　　　

真空箱內(nèi)腔尺寸： 大:900（左右）x650（前后）x850(上下）mm；小：650（左右）x500（前后）x450(上下)mm

其他功能：

1.設(shè)備具有二維碼掃描儲(chǔ)存功能；

2.設(shè)備泵組采用德國(guó)普發(fā)，壓縮機(jī)采用美國(guó)英格索蘭；

3.對(duì)氦氣濃度、壓力進(jìn)行監(jiān)控；

4.具有自動(dòng)清氦功能；

5.設(shè)備具有自動(dòng)監(jiān)控各部分的運(yùn)行狀態(tài)功能，異常診斷報(bào)警，并停止設(shè)備運(yùn)行的功能；

6.電氣系統(tǒng)具有自我檢測(cè)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行安全可靠和被檢工　　　件的安全；

7.有自動(dòng)、手動(dòng)兩種操作模式；

8.真空箱門(mén)設(shè)安全光電保護(hù)裝置，確保操作者安全；

9.系統(tǒng)內(nèi)各部件布置合理，各易損件易于拆卸、更換、方便維修；各滑軌、護(hù)板、護(hù)欄等設(shè)置美觀大方。

汽車零部件氦檢系統(tǒng)

系統(tǒng)概述：

1本設(shè)備適用對(duì)膨脹閥進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：

對(duì)被檢工件充氮?dú)?2-4MPa，此范圍內(nèi)可調(diào))進(jìn)行耐壓和大漏測(cè)試；

對(duì)被檢工件抽真空井充注氦氣[2-4MPa，此范向內(nèi)可調(diào))

2真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè)，自動(dòng)判斷工件需率合格與不合格；

3問(wèn)收并循環(huán)使用氦氣；

4 PLC控制，觸摸屏操作，檢測(cè)過(guò)程全自動(dòng)。

設(shè)備特點(diǎn)：

檢漏儀：我公司自主研發(fā)的檢漏儀，內(nèi)置漏孔，自動(dòng)校準(zhǔn)，無(wú)需人工標(biāo)定，避免人為操作失誤，導(dǎo)致檢漏儀損壞或檢漏結(jié)果不準(zhǔn)確，同時(shí)檢漏儀每次啟動(dòng)都進(jìn)行漏孔自動(dòng)校準(zhǔn)；有效保證檢漏精度；

操作終端；我公司采用工控電腦，運(yùn)用本公司自行開(kāi)發(fā)的上位機(jī)軟件，具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，在線監(jiān)測(cè)功能，一些簡(jiǎn)單的故障可通過(guò)遠(yuǎn)程操控解決，為用戶節(jié)省更多的售后時(shí)間；

在實(shí)現(xiàn)觸摸操作的前提下，融入了鼠標(biāo)和鍵盤(pán)操作，避免了單一操作模式的觸摸屏在損壞的情況下不能使設(shè)條正常運(yùn)轉(zhuǎn)的缺陷；內(nèi)存遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于平板控制器，有效防止歷史數(shù)據(jù)的丟失。

制冷管氦檢系統(tǒng)

系統(tǒng)概述：

主要應(yīng)用于空調(diào)冷凝管、蒸發(fā)器、壓縮機(jī)空調(diào)管路等零部件，大部分采用設(shè)置多工位、箱外充箱內(nèi)檢和箱內(nèi)充氦箱內(nèi)檢均可以檢漏。

1.本設(shè)備適用對(duì)上工件進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：

2.對(duì)被檢工件進(jìn)行保壓檢大漏；

3.對(duì)被檢工件抽真空并充注氦氣(0-2.0MPa(G)；

4.真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè)，自動(dòng)判斷工件漏率合格寫(xiě)不合格；

5.回收并循環(huán)使用氦氣；

6.PLC控制，觸摸屏操作，檢測(cè)過(guò)程全自動(dòng)。

技術(shù)參數(shù)：

真空箱數(shù)量 　3只　　　　　　　　　　　　每箱檢測(cè)工件數(shù) 　　4個(gè)　　　　　　　　

充氦氣壓力　0-2.0MPa，在此范圍內(nèi)壓力可調(diào)　真空箱開(kāi)關(guān)門(mén)方式　斜提拉式，樣式見(jiàn)設(shè)備效果圖

檢測(cè)漏率　　R134A，2克/年(約1×10^-6Pa·m³/s)　　　　　　　　　　　　　　　　　　

系統(tǒng)檢測(cè)節(jié)拍：12s/件，檢測(cè)時(shí)序圖見(jiàn)圖，每箱同時(shí)檢測(cè)4個(gè)工件　　　　　　　　　　　

氦回收率　　≥98% 　　　　　　　　　　　檢測(cè)儀開(kāi)檢（真空箱內(nèi)）壓力 ≤20Pa　　　　

工件抽空壓力　≤1000Pa（壓力向上可調(diào)）　工件進(jìn)出真空箱方式 人工拿取工件進(jìn)出真空箱

設(shè)備外形尺寸　6450*4000*2905mm（長(zhǎng)*寬*高）　　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱內(nèi)腔尺寸及容積 1200*80*350mm（長(zhǎng)*高*深），約336L