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簡(jiǎn)要描述:中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000 使用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍,采用電子束加速鏡筒,確保低壓下較好的成像功能,超高分辨率,適合研究所,高校等更多高分辨率觀測(cè)需求。
產(chǎn)品分類
Product classification詳細(xì)介紹
品牌 | KYKY/中科科儀 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
---|---|---|---|
背散射電子圖像分辨率 | 0.9nm@30Kv (SE) | 二次電子圖象分辨率 | 2.5nm |
加速電壓 | 0.2~30kV | 放大倍數(shù) | 2-3,000,000(圖像放大)x |
價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) | 儀器種類 | 場(chǎng)發(fā)射 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,電氣,綜合 |
中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000
簡(jiǎn)介
KYKY-EM8100 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用電子束加速鏡筒,確保低壓下較好的成像功能,超高分辨率,適合研究所,高校等更多高分辨率觀測(cè)需求。
使用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍,亮度高,單色性好、電子束斑小,壽命長(zhǎng),超大樣品倉(cāng),滿足不同客戶的觀測(cè)需求;
低像差物鏡技術(shù)提升成像品質(zhì),特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),樣品適用性更廣;錐形物鏡設(shè)計(jì),提升各類信號(hào)探測(cè)效率;
借助于光學(xué)顯微鏡可以看到0.2微米的這個(gè)尺度,可以看到細(xì)胞、細(xì)菌的結(jié)構(gòu)等;而借助掃描電子顯微鏡,就可以觀察到納米級(jí)尺度,可以觀測(cè)到病DU、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 0.9nm@30Kv (SE),2.5nm@30kV (BSE)
2. 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測(cè),無(wú)需噴金
3. 超大樣品艙,樣品直徑340mm,可定制樣品倉(cāng)尺寸
4. 束流穩(wěn)定度高,色散小,適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精確分析
中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000 技術(shù)指標(biāo)
分辨率 | 0.9nm@30KV(SE); 2.5nm@30KV (BSE) |
放大倍數(shù) | 2-3,000,000(圖像放大) |
電子槍 | 肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 0.2~30kV |
自動(dòng)調(diào)整功能 | 聚焦,亮度/對(duì)比度、消像散、電子束對(duì)中 |
探測(cè)器 | 高真空二次電子探測(cè)器(探頭防碰撞)、CCD |
樣品臺(tái) | 五軸全自動(dòng)大樣品臺(tái) 行程: X=150mm,Y=150mm,Z=60mm,T=-5°~+75°,R=360° 樣品直徑: Ф340mm;樣品高度:50mm;具有碰撞報(bào)警功能。 |
選配探測(cè)器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
廣泛應(yīng)用到材料科學(xué)、生命科學(xué)、航天航空、環(huán)境保護(hù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測(cè)以及微區(qū)成分分析問題,為我國(guó)前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。
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